MKS Instruments，Inc.是過程控制解決方案的全球提供商，該解決方案可以測(cè)量，控制，供電，監(jiān)視和分析先進(jìn)制造過程的關(guān)鍵參數(shù)，以提高過程性能和生產(chǎn)率。我們的產(chǎn)品源于我們?cè)趬毫y(cè)量和控制，流量測(cè)量和控制，氣體和蒸汽輸送，氣體成分分析，殘留氣體分析，控制和信息技術(shù)，臭氧產(chǎn)生和輸送，射頻和直流功率，無(wú)功氣體產(chǎn)生方面的核心競(jìng)爭(zhēng)力以及真空技術(shù)。

壓力測(cè)量與控制

MKS是壓力和真空測(cè)量的。MKS系列壓力和真空測(cè)量?jī)x器包括Baratron®電容壓力計(jì)，壓力傳感器，壓力開關(guān)和壓力控制子系統(tǒng)。

MKS系列用于控制真空和壓力的解決方案包括下游閥門和控制器，上游閥門和控制器，真空隔離閥和集成解決方案。我們的廣泛產(chǎn)品包括高速蝶形控制閥，高速擺閥，SST隔離閥以及具有基于模型的高級(jí)控制的閉環(huán)壓力控制器。

MKS是下游壓力控制子系統(tǒng)的，該子系統(tǒng)集成了排氣節(jié)流閥，先進(jìn)的數(shù)字控制器和Baratron®過程壓力計(jì)。我們的整體解決方案以更快的設(shè)定值提供更高的吞吐量，減少了過沖/下沖，并增加了正常運(yùn)行時(shí)間。

流量測(cè)量與控制

MKS系列質(zhì)量流量控制器儀器可在各種應(yīng)用中測(cè)量和控制關(guān)鍵氣體的流量，例如半導(dǎo)體制造，光學(xué)涂料和平板顯示器制造。

MKS Instruments的質(zhì)量流量控制器（MFC）和質(zhì)量流量計(jì)（MFM）可以進(jìn)行模擬或數(shù)字通訊，并具有彈性體或金屬密封件。模擬質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)是基本應(yīng)用的理想選擇，以簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)高效的封裝提供高性能。與模擬質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)相比，數(shù)字質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)設(shè)備具有多個(gè)優(yōu)點(diǎn)-改進(jìn)的診斷功能，單個(gè)包裝中的多種氣體功能以及多種范圍的功能，從而減少了備件需求并總體上降低了擁有成本。